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      SUNX晶圓校準傳感器重要參數

      SUNX晶圓校準傳感器重要參數

      產品型號: HD-T1030

      所屬分類:SUNX傳感器

      更新時間:2025-02-25

      簡要描述:SUNX晶圓校準傳感器重要參數HD-T1030
      特點
      無需任何安全措施
      施工簡便
      低消耗電流70mA以下
      高分辨率30μm
      無需光軸調整
      配備系數和偏移量調整功能

      詳細說明:

      SUNX晶圓校準傳感器重要參數HD-T1030

      特點

      無需任何安全措施

      施工簡便

      低消耗電流70mA以下

      高分辨率30μm

      無需光軸調整

      配備系數和偏移量調整功能

      技術參數

      檢測頭

      檢測寬度    30mm(直線性按照28mm的寬度規定)

      檢測距離    30mm(固定)(注2)

      環境性能  保護構造  IP40(IEC)

             使用環境溫度   0~+40℃(注意不可結露),存儲時:-20~+55℃

             使用環境濕度 35~85%RH、存儲時:35~85%RH

             使用環境照明度 白熾燈:受光面照明度3,000lx以下、熒光燈:受光面照明度3,000lx以下

             耐電壓 AC1,000V 1分鐘 所有電源連接端子與外殼之間

             緣電阻 所有電源連接端子與外殼之間,20MΩ以上,基于DC250V的高阻表

                    耐振動 頻率10~150Hz 雙振幅0.75mm X,Y和Z方向各2小時

             耐沖擊 加速度490m/s²(約50G) X,Y和Z方向各3

      投光元件 紅色LED(投光波峰波長:650nm)

      受光元件 光電二極管

      材質    本體外殼:PEI、前罩部:玻璃、安裝基座:鋁

      電纜     耐熱PVC電纜0.5m末端帶連接器

      (注2): 出廠時固定于安裝基座狀態下的值。

      控制器

      電源電壓 24V DC±10% 脈動P-P10%以下

      消耗電流 70mA以下(含檢測頭)

      模擬輸出        模擬電壓

                    ?輸出電壓:1±0.5V(全遮光時)~5±0.5V(全入光時)

                    ?輸出阻抗:75Ω

      量程調整功能 裝備15圈無限制調節器,可調整模擬輸出電壓的量程

      轉移調整功能 裝備15圈無限制調節器,可調整模擬輸出電壓的偏置

      預熱時間 30分以上

      反應時間 0.5ms以下(8V/ms以上)

      分辨率    30μm(注2)

      直線性    ±1.0%F.S.(檢測位置的檢測寬度28mm)(注3)

      溫度特性 ±0.1%F.S./℃(24±2℃) (注3)

      (注2): 分辨率為模擬輸出的峰值~峰值距離換算值(20MHz以下帶域)。

      (注3): 檢測頭和控制器組合后測定時的代表示例。

      SUNX晶圓校準傳感器重要參數HD-T1030



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